光谱共焦点传感器CL系列

控制器技术规格

型号 CCC PRIMA/CCS OPTIMA+
测量模式 位移/厚度
采样频率 100-2000Hz/100Hz-10000Hz
编码器信号输入 最多3轴-TTL信号输入
校准表(最大值) 20
光源 白色LED光源
数字量输出 30bits分辨率
模拟量输出 2路[0-10V]-16bit分辨率)
数字信号输出 USB2.0/RS232/RS422
I/O同步接口 输入输出TTL同步
通道选择 1/2/4
工作温度 5℃-40℃
存储温度 -30℃-70℃
防水等级 IP40
尺寸 162*111.5*124mm
控制器重量 1400g
电源等级 24V DC/20V

 

测量头技术参数

型号 CL0 CL1 CL2 CL3 CL4 CL5 CL6
量程(μm) 100 150 400 1400 4000 12000 24000
工作距离(mm) 2.69 3.35 10.8 12.0 16.2 25.9 21.5
最大可测倾角(°) 42 42.5 28 25 21 14 8.5
放大器型号 MG210 MG140 MG210 MG140 MG210 MG140 MG70 MG140 MG70 MG35 MG20 MG35 MG20 MG35 MG20
光斑尺寸(μm) 1.8 2.2 1.9 2.8 2.3 3.4 6.9 4 8 8 14 14 24.5 16 28
横向分辨率(μm) 0.9 1.1 0.8 1.4 1.2 1.7 3.5 3.5 4 4 7.0 7.0 12.3 13 14
光量收集率 0.5 1.7 3.3 10 2.8 7.9 41 10 57 25 91 33 100 9.8 43
位移测量
不平均(nm) 5.0 6.0 7.0 8.0 17 20 25 50 60 110 135 370 425 700 800
10次平均(nm) 1.7 2.0 2.3 2.7 5.7 6.7 8.3 17 20 37 45 123 142 233 277
精度(nm) 16 14 25 20 55 45 40 120 100 250 200 750 550 1600 1200

最小可测粗糙度Ra(nm)

 

12

 

30

 

90

 

170

 

600

 

1100

厚度
最小可测厚度(μm) 5 5 7.5 9 14 14 22 38 40 110 120 350 550 590 725
最大可测厚度(μm) 100 100 175 175 510 510 510 2000 2000 5700 5700 16500 16500 34000 34000
长度(mm) 263.6 229 253.1 217.1 243.3 208.9 176.1 205.9 176.1 145.5 131.7 145.5 131.7 167.6 151.8
直径(mm) 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27
重量(g) 227 192 268 195 248 190 189 215 214 155 140 175 160 195 180

(1)表中给出的数值是典型值,CL0,CL2,CL3,CL4有±3%的偏差;CL1,CL5,CL6有±6%的偏差,;
(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87°:
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以最佳的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置:自动适应LED模式,最优的速度,倾角为0,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并指定每个传感器的校准证书交付;
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
(8)在最佳的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1.5的厚度时);

 注:以上参数如有变化,恕不另行通知。

 

光纤线规格(可选配以下)

型号 长度 内径 外径 外壳 连接器类型
E50-3 3m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-5 5m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-10 10m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-3-M 3m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-5-M 5m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-10M 10m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-20-M 20m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000

 

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产品中心

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stil-ert01
DSC_0049-1
可搭配CCS PRIMA/CCS OPTIMA+控制器
控制器采样频率最高可达10KHZ
量程范围100um-24000um
精度最高可达到14nm
传感器由三部分组成:控制器、光纤、测头
根据实际测量需求,可选配单通道、双通道、四通道控制器
光纤线可选配普通型或者铠甲护套型的。
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