光谱共焦测量多层传感器

控制器技术规格

测量频率 2000HZ
波长范围 400-900nm
光谱分辨率 0.63nm/pixel
光源  
信号输出 网口/RS232
外部触发I/O 1input(TTL)/1 output(TTL)
光纤线 E2000(标准或铠甲)
相对湿度 5%-80% HR无冷凝
工作温度 5-50℃
外观尺寸 376mm*363mm*114mm
重量 6KG
测量模式:
距离/厚度
1、光谱共焦测量
2、光谱干涉测量

 

测量头技术参数

型号 CL0 CL1 CL2 CL3 CL4 CL5 CL6
量程(μm) 100 150 400 1400 4000 12000 24000
工作距离(mm) 2.69 3.35 10.8 12.0 16.2 25.9 21.5
最大可测倾角(°) 42 42.5 28 25 21 14 8.5
放大器型号 MG210 MG140 MG210 MG140 MG210 MG140 MG70 MG140 MG70 MG35 MG20 MG35 MG20 MG35 MG20
光斑尺寸(μm) 1.8 2.2 1.9 2.8 2.3 3.4 6.9 4 8 8 14 14 24.5 16 28
横向分辨率(μm) 0.9 1.1 0.8 1.4 1.2 1.7 3.5 3.5 4 4 7.0 7.0 12.3 13 14
光量收集率 0.5 1.7 3.3 10 2.8 7.9 41 10 57 25 91 33 100 9.8 43
位移测量
不平均(nm) 5.0 6.0 7.0 8.0 17 20 25 50 60 110 135 370 425 700 800
10次平均(nm) 1.7 2.0 2.3 2.7 5.7 6.7 8.3 17 20 37 45 123 142 233 277
精度(nm) 16 14 25 20 55 45 40 120 100 250 200 750 550 1600 1200

最小可测粗糙度Ra(nm)

 

12

 

30

 

90

 

170

 

600

 

1100

厚度
最小可测厚度(μm) 5 5 7.5 9 14 14 22 38 40 110 120 350 550 590 725
最大可测厚度(μm) 100 100 175 175 510 510 510 2000 2000 5700 5700 16500 16500 34000 34000
长度(mm) 263.6 229 253.1 217.1 243.3 208.9 176.1 205.9 176.1 145.5 131.7 145.5 131.7 167.6 151.8
直径(mm) 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27
重量(g) 227 192 268 195 248 190 189 215 214 155 140 175 160 195 180

(1)表中给出的数值是典型值,CL0,CL2,CL3,CL4有±3%的偏差;CL1,CL5,CL6有±6%的偏差,;
(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。:
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以最佳的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置:自动适应LED模式,最优的速度,倾角为0。,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并指定每个传感器的校准证书交付;
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
(8)在最佳的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1 5的厚度时);

 注:以上参数如有变化,恕不另行通知。

 

光纤线规格(可选配以下)

型号 长度 内径 外径 外壳 连接器类型
E50-3 3m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-5 5m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-10 10m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-3-M 3m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-5-M 5m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-10M 10m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-20-M 20m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000

                

        标准型光纤线                                    铠甲护套型光纤线

 

多层测量软件

STIL-DUO传感器采用多层测量软件,可以直接测量多层透明物体厚度(最高可达10层)

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测量3层样品厚度

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测量5层样品厚度

PRODUCTS

产品中心

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搭配DUO控制器同步测量技术:共焦色散和白光光谱干涉法
采样频率100Hz-10KHZ
适用卤素灯
可以处理大量测量范围拥有从130μm- 42mm
传感器由三部分组成:控制器、光纤、测头
最多可以测量10层不同折射率透明或半透明样品
光纤线可选配普通型或者铠甲护套型的。
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