STIL光谱共焦线扫传感器

光谱共焦线传感器原理图

MPLS-DM包含该了180个独立的光谱共焦通道,每个通道测量样品表面上的单个点,并包含自己的点源,针孔和光谱仪。

在MPLS-DM中,控制器和光学头通过连个光纤束连接。

第一束将控制器的内部光源连接到镜头的入射面;

180束光纤电缆的尖端成为180个通道点光源。

第二束连接光谱仪输出平面;180根光纤的尖端实现了180个通道的针孔。

 

 

STIL光谱共焦线扫传感器技术参数

线扫传感器型号 unit

MPLS-DM

NANOVIEW

MPLS-DM

WIREVIEW

MPLS-DM

MICROVIEW

MPLS-DM

DEEPVIEW

MPLS-DM

SUPERIEW

线长 mm 1.34 1.51 1.79 4.05 12.5
测量范围(2KHZ) mm 0.1 0.9 0.5 2.6 1.5
测量范围(4KHZ) mm 0.045 0.45 0.235 1.15 TBA
测量范围(6KHZ) mm 0.025 0.24 0.12 0.65 TBA
工作距离 mm 4.6 7.8 10.1 47.8 11.3
数值孔径   0.7 0.75 0.5 0.35 0.32
最大样品斜度 ° 40 46 30 20 19
光斑间距 μm 7.5 8.4 10 22.6 70.8
光斑直径 μm 3.75 4.2 5 11.5 34
轴向分辨率 μm 0.1 0.66 0.33 1.8 TBA
最大线性误差 μm ±0.05 ±0.1 ±0.8 ±0.15 TBA
均匀性 nm 0.03 0.2 0.125 0.5 TBA
最小可测厚度 μm 18 110 50 300 TBA
长度 mm 436.8 480.7 425.6 445.9 TBA
直径 mm 50 70 50 75 60
重量 g 1600 2200 1600 3400 TBA

备注:

.测量范围(MR),表中的数值是一台MPLS的标称值;

.工作距离,是光学头至测量范围开始端之间的距离,表中数值是典型值;

.最大线性误差,是将传感器测得的距离长度与1nm编码器测得的长度进行比较,观察到的最大误差。该步骤可位于MR内部任何位置。出厂校准后立刻在如下条件下测量此功能:

-每套通道的测量进行平均,以消除静态噪声

-信号电平较高,但不饱和

.最大样品斜度,光轴和局部表面坡度之间的最大夹角。最大可测倾斜角适用于镜面(镜状样品)表面。散射表面,角度可能更大。当倾斜角度增加时,收集信号的强度会减小。该表中的值是镜面上测得的。

.均匀性是由一个MPLS-DM传感器的180个通道在一个完美对齐平面上测量的值的变化量(RMS)。此功能在工厂校准后立即测量,并具有最佳的条件和设置。

 

STIL光谱共焦线扫传感器测头和控制器外形尺寸

传感器探头外形

控制器外形

 

STIL光谱共焦线扫传感器的相关软件

线传感器需要配备win7以上操作系统,带有USB2.0接口的电脑主机,SDK与传感器一起提供,包括:

-C++动态库源代码

-NET动态库

-“线传感器示例”程序

-USB驱动

-传感器用户手册和操作说明

 

使用"线传感器",可完成即时任务:

-连接传感器

-保存且加载配置文件

-改变传感器设置(LED强度、测量频率、触发选项...)

-启动测量,观察,保存数据

-执行用于校准

程序已显示模式:“线--线”和"图像",在图像模式下,每个板块的N行线,显示N*180大小的图像

在"Line sensor Example"中显示的"Line view"。180个橙色条表示测量距离,180个黑色条表示测量强度。

在"Line sensor Example"中显示的"Image view"。每个像素的颜色表示高度值。

 

 

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产品中心

线扫
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光谱共焦线扫传感器高速测量(30000点/秒)
控制器由千兆以太网进行数据传输
测头高分辨率,高精度
光谱共焦可测量任何材料
对外部环境光线不敏感
最大线率是2000lines/秒
由180个点投射到样品表成为一条线
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