STIL光谱共焦线扫传感器
光谱共焦线传感器原理图
MPLS-DM包含该了180个独立的光谱共焦通道,每个通道测量样品表面上的单个点,并包含自己的点源,针孔和光谱仪。
在MPLS-DM中,控制器和光学头通过连个光纤束连接。
第一束将控制器的内部光源连接到镜头的入射面;
180束光纤电缆的尖端成为180个通道点光源。
第二束连接光谱仪输出平面;180根光纤的尖端实现了180个通道的针孔。
STIL光谱共焦线扫传感器技术参数
线扫传感器型号 | unit |
MPLS-DM NANOVIEW |
MPLS-DM WIREVIEW |
MPLS-DM MICROVIEW |
MPLS-DM DEEPVIEW |
MPLS-DM SUPERIEW |
||||
线长 | mm | 1.34 | 1.51 | 1.79 | 4.05 | 12.5 | ||||
测量范围(2KHZ) | mm | 0.1 | 0.9 | 0.5 | 2.6 | 1.5 | ||||
测量范围(4KHZ) | mm | 0.045 | 0.45 | 0.235 | 1.15 | TBA | ||||
测量范围(6KHZ) | mm | 0.025 | 0.24 | 0.12 | 0.65 | TBA | ||||
工作距离 | mm | 4.6 | 7.8 | 10.1 | 47.8 | 11.3 | ||||
数值孔径 | 0.7 | 0.75 | 0.5 | 0.35 | 0.32 | |||||
最大样品斜度 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 19 | ||||
光斑间距 | μm | 7.5 | 8.4 | 10 | 22.6 | 70.8 | ||||
光斑直径 | μm | 3.75 | 4.2 | 5 | 11.5 | 34 | ||||
轴向分辨率 | μm | 0.1 | 0.66 | 0.33 | 1.8 | TBA | ||||
最大线性误差 | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.8 | ±0.15 | TBA | ||||
均匀性 | nm | 0.03 | 0.2 | 0.125 | 0.5 | TBA | ||||
最小可测厚度 | μm | 18 | 110 | 50 | 300 | TBA | ||||
长度 | mm | 436.8 | 480.7 | 425.6 | 445.9 | TBA | ||||
直径 | mm | 50 | 70 | 50 | 75 | 60 | ||||
重量 | g | 1600 | 2200 | 1600 | 3400 | TBA |
备注:
.测量范围(MR),表中的数值是一台MPLS的标称值;
.工作距离,是光学头至测量范围开始端之间的距离,表中数值是典型值;
.最大线性误差,是将传感器测得的距离长度与1nm编码器测得的长度进行比较,观察到的最大误差。该步骤可位于MR内部任何位置。出厂校准后立刻在如下条件下测量此功能:
-每套通道的测量进行平均,以消除静态噪声
-信号电平较高,但不饱和
.最大样品斜度,光轴和局部表面坡度之间的最大夹角。最大可测倾斜角适用于镜面(镜状样品)表面。散射表面,角度可能更大。当倾斜角度增加时,收集信号的强度会减小。该表中的值是镜面上测得的。
.均匀性是由一个MPLS-DM传感器的180个通道在一个完美对齐平面上测量的值的变化量(RMS)。此功能在工厂校准后立即测量,并具有最佳的条件和设置。
STIL光谱共焦线扫传感器测头和控制器外形尺寸
传感器探头外形
控制器外形
STIL光谱共焦线扫传感器的相关软件
线传感器需要配备win7以上操作系统,带有USB2.0接口的电脑主机,SDK与传感器一起提供,包括:
-C++动态库源代码
-NET动态库
-“线传感器示例”程序
-USB驱动
-传感器用户手册和操作说明
使用"线传感器",可完成即时任务:
-连接传感器
-保存且加载配置文件
-改变传感器设置(LED强度、测量频率、触发选项...)
-启动测量,观察,保存数据
-执行用于校准
程序已显示模式:“线--线”和"图像",在图像模式下,每个板块的N行线,显示N*180大小的图像
在"Line sensor Example"中显示的"Line view"。180个橙色条表示测量距离,180个黑色条表示测量强度。
在"Line sensor Example"中显示的"Image view"。每个像素的颜色表示高度值。
控制器由千兆以太网进行数据传输
测头高分辨率,高精度
光谱共焦可测量任何材料
对外部环境光线不敏感
最大线率是2000lines/秒
由180个点投射到样品表成为一条线